新型无纹波转矩的高精密环形电机设计方法

微特电机 ›› 2020, Vol. 48 ›› Issue (12): 23-26.

新型无纹波转矩的高精密环形电机设计方法

刘宗虎, 杨帆

西安航天动力试验技术研究所,西安710100

收稿日期:2020-07-20 出版日期:2020-12-28 发布日期:2020-12-23

New Design Method of High-Precision Toroidal Type Motor without Ripple Torque

LIU Zong-hu, YANG Fan

Xi’an Aerospace Propulsion Testing Technique Institute, Xi’an, 710100, China

Received:2020-07-20 Online:2020-12-28 Published:2020-12-23

摘要/Abstract

摘要： 半导体制造装备中高精度运动控制技术的不断发展,对高性能永磁电机纹波转矩的抑制提出了更高要求。电机的纹波转矩严重影响了主轴系统的工作性能。设计了一种新型无纹波转矩的高精密环形电机,其磁轭可以提供理想的正弦磁通量分布,从而产生平稳的转矩。实验结果表明,该环形电机具有高精度、低温升等优异性能。

关键词: 高精密电机, 纹波转矩, 齿槽转矩, 磁通密度, 环形

Abstract: Development of the high-precision motion control technology in semiconductor manufacturing equipment had put forward higher requirements for the suppression of ripple torque of high-performance permanent magnet motors. The motor ripple torque affected the performance of the spindle system seriously. A new type of high-precision toroidal type motor without ripple torque was designed, and its yoke provided ideal sinusoidal magnetic flux distribution, which generated stable torque. Experimental results show that the designed toroidal type motor has excellent service performance such as high precision and low temperature rise.

Key words: high-precision motor, ripple torque, cogging torque, magnetic flux density, toroidal type

中图分类号:

TM351

刘宗虎, 杨帆. 新型无纹波转矩的高精密环形电机设计方法[J]. 微特电机, 2020, 48(12): 23-26.

LIU Zong-hu, YANG Fan. New Design Method of High-Precision Toroidal Type Motor without Ripple Torque[J]. Small & Special Electrical Machines, 2020, 48(12): 23-26.

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