三轴振镜驱动系统设计

微特电机 ›› 2025, Vol. 53 ›› Issue (7): 38-43.

三轴振镜驱动系统设计

谭　轩¹,谢　斌¹,刘　伟¹,邓磊敏²,李叶松¹

1. 华中科技大学人工智能与自动化学院,武汉 430074; 2. 华中科技大学武汉光电国家研究中心,武汉 430074

出版日期:2025-07-28 发布日期:2025-08-08
作者简介:谭轩 ( 2000—) , 男,硕士,研究方向为电机与运动控制。谢斌( 1995—) ,男,博士,研究方向为多电机伺服系统的智能辨识与同步控制。刘伟( 1998—) ,男,硕士,研究方向为电机与运动控制。邓磊敏( 1988—) ,男,博士,教授,研究方向为激光极端制造技术与装备、现代光学系统设计。李叶松( 1970—) ,男,博士,教授,研究方向为高性能电机与运动控制、智能制造装备。

Design of Three-Axis Galvanometer Drive System

TAN Xuan¹,XIE Bin¹,LIU Wei¹,DENG Leimin²,LI Yesong¹

1. School of Artificial Intelligence and Automation,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China; 2. Wuhan National Laboratory for Optoelectronics,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China

Online:2025-07-28 Published:2025-08-08

摘要/Abstract

摘要： 针对激光三维微加工的同步高速高精度性能需求,提出一种基于并行处理架构的全数字控制三轴振镜驱动系统方案。采用高性能多核 DSP 实现双闭环位置复合控制策略,结合多核实时任务时序调度机制,提高三轴振镜同步控制性能。实验结果表明,所提出的三轴振镜驱动系统方案实现了良好的位置跟踪性能,可以满足激光三维微加工要求。

关键词: 振镜驱动, 数字控制, 伺服系统, 复合控制, 三轴同步控制

Abstract: Aiming at the demand for synchronous, high-speed, and high-precision performance in laser threedimensional micro-processing, a full digital control three-axis galvanometer drive system based on a parallel processing architecture was proposed. A dual-closed-loop position composite control strategy was implemented on a high-performance multi-core DSP,and a multi-core real-time task scheduling mechanism was designed to improve the synchronous control performance of the three-axis galvanometer. Experimental results verified that the proposed three-axis galvanometer drive
system has achieved good position tracking performance, which met the requirements of laser three-dimensional micromachining.

Key words: galvanometer drive,digital control,servo system,composite control,three-axis synchronous control

中图分类号:

TM381

谭　轩, 谢斌, 刘　伟, 邓磊敏, 李叶松. 三轴振镜驱动系统设计[J]. 微特电机, 2025, 53(7): 38-43.

TAN Xuan, XIE Bin, LIU Wei, et al.. Design of Three-Axis Galvanometer Drive System[J]. Small & Special Electrical Machines, 2025, 53(7): 38-43.

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