三轴振镜驱动系统设计
谭 轩, 谢 斌, 刘  伟, 邓磊敏, 李叶松
Design of Three-Axis Galvanometer Drive System
TAN Xuan, XIE Bin, LIU Wei, et al.
微特电机 . 2025, (7): 38 -43 .